设备配置:
　 »Φ2-8" 圆片及其它形状的基板
　 »32"×32" 圆形工艺腔
　 »16" VAT 高阀组
　 »加热温度500℃，16KW
　 »1-6 坩埚，可选配
　 »Austin 冷泵
　 »3 dome 行星架
　 »电子枪电源，10-15KW air cooled
　 »ELO 17" 触控屏
　 »10KW电子枪电源

特点：
　 »设备真空 5.0E 10-7Torr
　 »工艺真空 8.0E 10-8Torr
　 »真空速度：2.0E 10-6Torr < 10min（高阀打开）
　 »最高温度500°C
　 »装片能力：
　　·3" 108pcs • 4" 57pcs •5" 39pcs
　　·6" 24pcs • 8" 15pcs
　 »产能：
　　·单位小时= 60/99.3*24=14.496
　　·月产能 = 1440*0.9(PM time)/99.3min*24*30 = 9396
　 »均匀性：片内，片间，批间 ±3%
　 »Windows XP操作系统，界面友善
　 »控制面板简洁、清晰，操控方便
　 »全中文操控平台，更适合国内用户

动力条件：
　 »电源：VAC208，3相5线 / 50/60Hz，160Amp
　 »冷却水：3－5 Gmp
　 »压缩空气：85－125psig
　 »氮气：20－60psig